Programme d’études | English | ||
Technologie plasma pour le traitement des matériaux | |||
Unité d’enseignement du programme de Master en sciences physiques , à finalité approfondie à la Faculté des Sciences |
Code | Type | Responsable | Coordonnées du service | Enseignant(s) |
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US-M1-PHYSFA-028-M | UE optionnelle | SNYDERS Rony | S882 - Chimie des Interactions Plasma-Surface |
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Langue d’enseignement | Langue d’évaluation | HT(*) | HTPE(*) | HTPS(*) | HR(*) | HD(*) | Crédits | Pondération | Période d’enseignement |
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| Français | 15 | 0 | 15 | 0 | 0 | 3.00 | 100.00 |
Code(s) d’AA | Activité(s) d’apprentissage (AA) | HT(*) | HTPE(*) | HTPS(*) | HR(*) | HD(*) | Période d’enseignement | Pondération |
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S-CHIM-120 | Technologie plasma pour le traitement des matériaux (Partie A) | 15 | 0 | 15 | 0 | 0 | Q1 | 100.00% |
Unité d'enseignement |
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Objectifs par rapport aux acquis d'apprentissage du programme
Acquis d'apprentissage UE
A l'issu du cours l'étudiant sera capable de: - Décrire les spécificités des plasma froids - Décrire le fonctionnement d'une décharge magnétron - Décrire le fonctionnement d'un procédé PECVD - Expliquer les mécanismes mis en jeu lors de la synthèse de films minces par les technologies plasma
Contenu de l'UE
Description du milieu plasma, caractéristiques des plasmas froids, pulvérisation magnétron (réactive), méthodes impulsionnelles, procédés PECVD, cas de la polymérisation plasma, croissance de films minces
Compétences préalables
Théorie cinétique des gaz, électricité, structure de l'atome, distributions statistiques, spectre électromagnétique, phénomène de diffusion, structure cristalline des solides, caractérisation spectroscopique des surfaces
Types d'évaluations Q1 pour l'UE
Commentaire sur les évaluations Q1 de l'UE
Préparation des questions par écrit en utilisant le cours. Lecture et discussion autour d'un article de recherche en relation avec le cours.
Types d'évaluations Q2 pour l'UE
Commentaire sur les évaluations Q2 de l'UE
Sans objet
Types d'évaluation Q3 pour l'UE
Commentaire sur les évaluations Q3 de l'UE
Préparation des questions par écrit en utilisant le cours. Lecture et discussion autour d'un article de recherche en relation avec le cours.
Commentaire sur les évaluations rattr. Q1 de l'UE
Sans objet
Types d'activités
AA | Types d'activités |
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S-CHIM-120 |
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Mode d'enseignement
AA | Mode d'enseignement |
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S-CHIM-120 |
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Supports principaux
AA | |
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S-CHIM-120 |
Supports principaux non reproductibles
AA | Supports principaux non reproductibles |
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S-CHIM-120 | Transparents contenant les figures à disposition |
Supports complémentaires
AA | |
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S-CHIM-120 |
Supports complémentaires non reproductibles
AA | Support complémentaires non reproductibles |
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S-CHIM-120 | Sans objet |
Autres références conseillées
AA | Autres références conseillées |
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S-CHIM-120 | B. Chapman, Glow Discharge Processes: Sputtering and Plasma Etching, Wiley & Sons D. L. Smith, Thin Films Deposition, McGraw-Hill, Inc. M. Ohring, Materials Sciences of Thin Films, Academic Press |
Reports des notes d'AA d'une année à l'autre
AA | Reports des notes d'AA d'une année à l'autre |
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S-CHIM-120 | Autorisé |